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所 在 地: | 广东省 佛山市 |
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有效期至: | 长期有效 |
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主要技术参数:1.极限真空度:5x10-4Pa;2.工作真空度:6.67x10-3Pa;3.抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<12分钟;4. 压升率:0.35Pa/小时;5. 自转轴中心距:210mm或165mm可互换; 6.工位:24个或18个可互换;7. 电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。产品名称 PVD1612G 数量真空系1.2x70旋片泵三台;2.RTO·300S罗茨泵一台;3.TYFB-3600分子泵三台;4.阀门:GDZ3X400A高阀(全不锈钢结构),前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀以上均为GDQ100型不锈钢结构,DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀;5.管道为全不锈钢结构,分子泵出口为波纹管连接。1套 真空室 1.罐体材料为太钢SUS304不锈钢带水冷套结构,内尺寸Φ1600x1200mm,内壁厚10mm,上盖板布置8对(16支)磁控靶位孔位,对靶间距两工位,自转直径为Ø120或Ø180,抽气口两侧排布两组八支弧源,门上两个观察窗;2.工件支杆1套,Ø8mm;3.内衬板2套; 4.布气管路;5.放气阀加装空气滤清器;6.转架为下转架,带屏蔽罩。1套 偏压电源 脉冲逆变PLS50KW 1台 中频电源中频逆变MF40KW 8台弧电源直流逆变DC160A8台