上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称“华虹宏力”)是世界领先的8英寸晶圆代工厂,工艺技术覆盖1微米至90纳米各节点,在嵌入式非易失性存储器、功率器件等领域形成了具有业界竞争力的先进工艺平台,并拥有多年成功量产汽车电子芯片的经验,被评为“国家企业技术中心”和“上海市高新技术企业”。公司在上海金桥和张江建有3座8英寸晶圆厂,月产能约17万片;同时,在无锡高新技术产业开发区内在建1条月产能4万片的12英寸集成电路生产线,支持5G和物联网等新兴领域的应用。
2014年成立的华虹宏力院士专家工作站,是上海市集成电路行业组建的首家院士专家工作站,先后引进了中科院院士邹世昌、复旦大学教授张卫、中科院上海微系统与信息技术研究所研究员杨根庆、中科院院士郝跃,由他们组成专家团队,在公司内建设服务平台,为企业发展提供战略咨询、培养人才队伍、指导技术攻关、促进科技成果转化等服务。
为产学研合作模式深化规范
华虹宏力是张江园区内首批建立博士生培养基地和博士后流动站的企业之一。10多年来,华虹宏力采用产学研相结合的方式,培养了2名出站博士后、近30名博士。建立院士专家工作站后,公司的产学研合作更为规范化。为更有效地了解博士生的学习及工作情况,工作站每年会召开三四次检查会议,每次会议邀请院士、专家重点指导博士生开题报告、阶段性工作和学习,并请即将毕业的博士生作论文选题等方面的经验分享。
华虹宏力院士专家工作站团队曾荣获“2014年度上海市科学技术进步奖一等奖”“2015年浦东新区创新成就奖一等奖”,1名企业导师获评为“上海市青年科技英才”,1名毕业博士被评为上海市青年科技启明星。
为技术交流搭建沟通桥梁
每年一届聚焦产业热点的技术交流论坛,是华虹宏力院士专家工作站的重头戏。4年来,工作站邀请权威专家,不断扩大规模,努力将论坛打造成工作站的品牌项目。
2014年首届院士专家技术交流论坛把已毕业的联合培养博士生“请进来”,和院士、专家及企业技术人员共同探讨产业链各环节研发动态。2015年,论坛以“智汇创新,引‘芯’发展”为主题,由进站专家——复旦大学微电子学院副院长张卫教授主持,邀请了原戴姆勒奔驰汽车电子实验室主任Wilhelm Senske博士,电子科技大学集成电路研究中心主任、微电子与固体电子学院副院长张波教授,西安电子科技大学半导体技术重点学科实验室副主任张进成教授等作精彩演讲,在外部院士专家和公司技术人员之间架起了沟通互动的桥梁,活跃了技术创新氛围。2016年,工作站第3届院士专家技术交流论坛作为上海院士峰会分会场之一及“相约张江”科技文化节系列活动之一亮相。
今年,工作站尝试以一场场小而精的沙龙座谈作为一年一度大论坛的补充。5月18日,第1期“‘芯’视野”沙龙邀请广立微CTO杨慎知博士作题为《从一到亿,半导体器件分布及特征》的报告, 30余位工程师就半导体技术热点、难点展开积极讨论。后续,“‘芯’视野”活动还将就“电容测试”“创新思维”“客户思维”等主题,邀请业界专家与广大工程师一起交流、探讨,为集成电路工作者搭建沟通的桥梁。
为企业合作项目提供战略指导
华虹宏力院士专家工作站还始终为企业的合作项目提供战略指导。目前在华虹宏力承担的国家和市级重大科研项目中,有不少是与院士、专家所在单位合作攻关的,如与复旦大学合作了02国家科技重大专项“0.25—0.18微米通用BCD 产品工艺开发与产业化”和“0.13—0.09微米嵌入式自对准分栅闪存产品工艺开发与产业化”项目,与中科院上海微系统所就02国家科技重大专项“0.13微米SOI通用CMOS 工艺开发与产业化”“硅基射频功率芯片工艺开发与产业化”项目开展技术交流等。院士专家作为项目指导,或参与项目检查会议,或给予战略指导意见,为项目加快研发和产业化起到了积极推进作用。
目前,工作站不仅成功开发了多种集成电路制造工艺,研制出大批具有自主知识产权的重大科技产品,更引领了国内嵌入式闪存、SOI工艺等先进特色工艺的技术突破。近年来,院士专家工作站3个项目成果的应用转化已实现了超千万元的经济效益。院士专家团队曾指导的嵌入式闪存工艺项目的应用,更累计销售突破50亿元。这些在沉淀企业科研实力的同时,更有力地助推了集成电路芯片国产化。
2016年,上海华虹宏力半导体制造有限公司院士专家工作站在市科协的推荐下,成为全国百家示范院士专家工作站之一。公司还曾荣膺“2015年度上海市知识产权优势企业”“2017年全国电子信息行业最具影响力企业”“中国工业行业履行社会责任五星级企业(2016)”,并蝉联“2017年大中华IC设计成就奖之最受认可晶圆代工企业”,也是首个跻身“中国企业发明专利授权量前十”的集成电路企业。对于企业在自主创“芯”路上的快速发展,华虹宏力院士专家工作站功不可没。今年初,市科协副主席李虹鸣赴华虹宏力,就其科协工作情况开展了调研。